产品分类 更多>>
主要技术参数：1.极限真空度：5x10-4Pa；2.工作真空度：6.67x10-3Pa；3.抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜12分钟；4. 压升率：0.35Pa/小时；5. 自转轴中心距：210mm或165mm可互换； 6.工位：24个或18个可互换；7. 电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。产品名称 PVD1612G 数量真空系1.2x70旋片泵三台；2.RTO•300S罗茨泵一台；3.TYFB-3600分子泵三台；4.阀门：GDZ3X400A高阀（全不锈钢结构），前级阀、预抽阀、维持阀、截止阀以上均为GDQ100型不锈钢结构，DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀；5.管道为全不锈钢结构，分子泵出口为波纹管连接。1套 真空室 1.罐体材料为太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸Φ1600x1200mm，内壁厚10mm，上盖板布置8对（16支）磁控靶位孔位，对靶间距两工位，自转直径为Ø120或Ø180，抽气口两侧排布两组八支弧源，门上两个观察窗；2.工件支杆1套，Ø8mm；3.内衬板2套； 4.布气管路；5.放气阀加装空气滤清器；6.转架为下转架，带屏蔽罩。1套 偏压电源 脉冲逆变PLS50KW 1台 中频电源中频逆变MF40KW 8台弧电源直流逆变DC160A8台
