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功能调系列调阻机
设备特点
•定制化：可针对客户产品不同的激光调阻应用要求，提供具有较高价值的产品解决方案。
•调阻精度高：独特的测控技术，测量控制系统精度的一致性好，提升产品附加值；成品率高，单位成本下降。
•软件可编程：可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行，也可作为专门的测试平台，适应性广。
•使用成本低：采用了先进的激光器，无耗材，使用成本较低，长期使用节约大量的费用。
•多功能：可实现陶瓷基片的激光划线、打标，减少设备的再投入。
•大理石基座，可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动，同时保持机台温度的稳定性，性高。
主要技术参数
激光系统 型号规格 LT
激光波长 1064nm
激光功率 10W
典型光斑尺寸 35±5µm
对焦方式 自动，计算机程序控制
冷却方式 风冷
激光束定位系统 激光束运动范围 60mm X 60mm
运动分辨率 0.76µm
重复定位精度 ±5µm
分步重复运动系统 运动方式 精密闭环XY平台
运动范围 300mm*300mm
重复定位精度 ±10µm
较大运动速度（空载） 180mm/s
测量系统 电阻测量方式 四线制测量或二线制测量
电阻测量精度 中阻0.05%
电阻测量范围 0.1Ω-100MΩ
测量速度 25µs/次
零点及满程误差校正 自动校正
探针定义 可编程任意设定
探针板运动 自动，计算机程序控制
