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技术参数： ˉ采用全花岗石底座、支柱，机械系统的稳定性 ˉ行程范围：X轴------1000mmY轴------1200 mm ˉZ轴------400 mmT轴------360o ˉ传动方式：高精密滚珠导轨 高精密滚珠丝杠 步进电机 ˉ图像采集系统：高速图像采集卡 镜头 低照度高分辨率CCD ˉ激光系统：650 nm波长激光，较大功率20 mW，连续可调 ˉ机械精度：X、Y、Z三轴综合精度分别≤0.05 mm ˉ机台重复定位精度≤0.005 mm ˉ机台：高精度花岗岩平台，机台承重
