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真空镀膜设备|真空深冷泵（捕集泵）------------本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、品牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于地位，达到甚至超过国际先进水平。
适用于：物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备； 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；
2、提高镀膜质量，防返油、不脱落、颜色；
3、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，较低可到-150℃；
4、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
5、触摸屏 PLC=完善的自动化控制；
6、一台设备可设计两路负载输出；
7、压缩机，环保混合型制冷剂;
8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示；
9、除霜温度自由设定；
10、具有水温温度、排气温度显示；
11、缺水、水温过高报警；
12、压缩机排气过高、压力过高保护；
13、可本地、远程控制自由转换；
14、R232计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。
型 号：TH-135-20A
压缩机功率：8.5KW
工作温度：-120℃至-145℃
抽气速度：101000L/s
制 冷 量：1800W
冷凝管面积：0.7m2
冷凝管长度：14m直径16mm
预冷时间：小于等于30min
降温时间：小于等于3min
除霜时间：小于等于3min
再降温时间：小于等于5min
适用油扩散泵径：小于等于1000mm
冷却方式：水冷(t≤30度)
型 号：TH-135-32A
压缩机功率：12.3KW
工作温度：-120℃至-145℃
抽气速度：250000L/s
制 冷 量：3500W
冷凝管面积：2.0m2
冷凝管长度：40m直径16mm
预冷时间：小于等于40min
降温时间：小于等于5min
除霜时间：小于等于3min
再降温时间：小于等于6min
适用油扩散泵径：双路输出
冷却方式：水冷(t≤30度)---------------真空镀膜设备|真空深冷泵（捕集泵）
