伯东公司德国Pfeiffer氦质谱检漏仪应用于真空渗碳炉检漏应用（江苏昆山某热处理厂） 一、氦质谱检漏仪应用于真空渗碳炉检漏原因 真空渗碳炉 (Vacuum Cementite Furnace) 使用神港精机（shinko seiki）罗茨泵机组(SR-75BⅡ SMB-C15) 抽真空，要求真空度需要到达 1x10-3 mbar 左右真空环境下才能有效工作， 由于渗碳处理需要温度大约 900℃ 下进行，如果密封不好的话工件很容易氧化，造成整炉的工件保费，损失巨大。所以真空渗碳炉的密封性非常重要，检漏非常关键。 二、氦质谱检漏仪应用于真空渗碳炉检漏方法 Pfeiffer HLT560 氦质谱检漏仪提供两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正压模式 (sniffer mode)，真空渗碳炉多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏，将氦质谱检漏仪与真空系统连接，较好连接在排气口附近（也就是真空泵组的进气口处），真空系统都会有泵组在抽真空，所以在泵的进气口处连接氦质谱检漏仪是在气流的流向上，很容易有一部分分压分给氦质谱检漏仪，从而达到检漏的效果。 Pfeiffer 氦质谱检漏仪连接在机械泵组的进气口处，首先启动泵组，对渗碳炉抽真空，同时启动氦质谱检漏仪，此时质谱检漏仪上面的 Pfeiffer EVB 025 角阀一定处于关闭状态，当泵组抽真空到达一定真空度（较高背压为 25 mbar业界较高）时，可以进行检漏操作。 检漏工作准备就绪，泵组抽真空到达一定真空度后，氦质谱检漏仪为待机状态，EVB 025 角阀处于关闭状态，此时可以按下检漏仪启动键，氦质谱检漏仪开始测漏，然后慢慢开启角阀，观察漏率值的变化，由于检漏仪和真空渗碳炉的腔体联通，有真空度的变化，所以漏率值也会产生变化，等到漏率值平稳，再将角阀慢慢开到较大，等待数值稳定，可以喷氦气进行检漏。 当喷氦气后氦质谱检漏仪显示漏率值超过设定值，并且有明显的报警声音，表明此处有漏点，然后在漏电处做标记，在进行其他部位的检漏。 当检测中找到漏电后，由于有氦气进入真空系统，所以漏率值会缓慢上升，为了更快速检测下一个漏电，可以按下显示屏左下方的 ZERO 键，对检漏仪进行本底清零，随即可以查找下一个漏点，达到节省时间的效果。 三、氦质谱检漏仪应用于真空渗碳炉检漏形式说明 使用氦质谱检漏仪真空模式检测大型真空炉是业界所采用的广泛的检测方法，真空焊接炉使用真空系统抽真空，氦质谱检漏仪连接在真空炉的排气端，由于气流都会走向真空系统，如果喷氦气有漏的话，都会经过检漏仪抽气口，氦质谱检漏仪检测到氦气后就可以在漏率上有一个变化，从而达到测量效果。 德国Pfeiffer 氦质谱检漏仪更多应用领域：1. 汽车工业 （安全气囊、铝制车轮轮辋、油箱系统装配、空调和空气悬挂系统部件）2. 制冷/空调技术（蒸发器，压缩机）检漏3. 真空设备和增压技术（阀门和接头）检漏4. 包装技术（医药产品、食品）检漏5. 低温容器, 高压容器检漏 伯东企业（上海）有限公司是德国普发授权代理商。伯东真空主营产品德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空镀膜机,真空系统以及HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机. CTI 低温泵和美国KRI 离子源.Gamma离子泵。离子刻蚀机等 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请登录我们网站: www.hakuto-vacuum.cn TEL: 86 （021） 5046-3511转106 Fax : 86 （021） 5046-1490 E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn