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真空舱体 W400 mm × H400 mm × D625 mm (100 升)
外形尺寸W600mm ×H1800mm ×D1000mm
* 分层(最多到10层) 电极-托盘
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 双气路，针阀
* 全自动控制
* 功率连续可调 0-2500W
* 自动阻抗匹配
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
* 规格：W600 mm×H2200 mm× D800 mm
* 电源：AC 380V/50Hz
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 旋转圆筒舱体(适用于处理颗粒状样品)
配件选装指南
• 13.56MHz射频发生器 • 2.45GHz射频发生器 • 半自动控制系统 • 全自动控制系统- 操作轻松简便的控制系统
• 计算机(PC)控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 • 附加气体通路 • 自动真空舱门 • 设备自动门
• 条码阅读器 • 偏压测量系统 • 碟型阀 • 排气过滤系统 • 适用于腐蚀性气体系统 • 舱体托盘可订做 - 适合舱体的最佳尺寸
• 粉末处理装置 • 法拉第容器 • 气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体 • 玻璃舱体(硅酸盐或石英)
• 预热板 • 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中 • 真空泵抽气入口过滤器 • 标签打印机 • 标签阅读机
• 加深舱体 • 单体瓶- 轻松的控制不稳定的液体含量 • 网络连接系统 • 聚合处理附件 • 气瓶出气减压阀 • 石英玻璃皿
• 卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等 • RIE电极(适用于刻蚀) • 旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理
• 安全阀
• 服务条约- 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔…
• 附加的配件
• 特殊的电极和托盘
• 特殊法兰/附加法兰
• 特殊软件
• 特殊真空舱体
• 过程温度测量
• 测试墨水(用于测试表面接触角) • 真空泵系统
