SET3/1064/532/355，SFT3：晶圆薄膜电阻修调机 激光调阻机的成功研制对推动我国微电子行业的产业升级起到重要作用。激光调阻机是利用激光技术对厚、薄膜电路进行修调，以得到高精度的电阻值或的输出信号。公司生产的激光调阻机全部拥有自主知识产权，采用量的激光源和精密的测量系统，空气悬浮平面运动机构，各项性能指标达到先进水平，是取代产品之. 晶圆薄膜电阻修调机技术参数: 1.激光器系统 激光波长：532nm/355nm 激光平均功率：7W 典型光斑尺寸： 15μm±3μm 实际切口取决于材料、光学器件和波长 冷却方式：风冷 对焦方式：计算机程序控制 2．激光束定位系统 激光束运动范围：50mm X 50mm 重复定位精度：2μm 定位精度：±5μm 激光束小步进：0.76μm 3．分步重复机械运动系统 运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力 运动范围：290mm*260mm 较大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根据要求定做） 运动分辨率：1μm 重复精度：2μm 定位精度：±15μm 较大运动速度：500mm/s 4．测量系统 激励方式：电流激励 恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择 电阻测量方式：四线制加电流测电压（可选择二线制） 直流电压测量：10mV~10V（满程电压） 电阻测量精度：低阻：<0.05% 0.5%/R （R<100Ω） 中阻：<0.05% 高阻：<0.05% 0.5%R（R>0.1MΩ） 电阻测量范围： 0.1Ω-10MΩ 电阻测量速度：25μs 直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下） 探针板运动：计算机程序控制 5．计算机及软件系统 工业控制计算机（双核），19寸液晶 操作系统：Windows XP 软件可编程，界面友好，功能强大 软件系统可免费升级和进行功能扩展 6．图像监视系统 监视方式：激光同轴监视 监视视场：2-3mm（对角线） 显示屏：19寸液晶 7．其它技术指标 供电电压：220V AC 整机功耗：1200W 激光器的选择： 针对被修调电阻材料特性，选择合适波长的激光器，可提升切割效果，对于金属薄膜电阻，一般采用532um或355nm短波长激光可达到理想效果，有些金属薄膜电阻也可以采用 晶圆薄膜电阻修调机应用和市场： 主要应用于厚、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路，电子元器件，汽车电器，传感器，科研，片式电阻行业等。 公司名称：武汉三工光电设备制造有限公司 公司地址：湖北武汉东湖新技术开发区武汉大学科技园武大园四路 联系人：陶小姐 电话：027-59722666-8013 手机：15671696583 QQ:1563376021 阿里旺旺：sunic40 慧聪发发：sunic40